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[機種] 雰囲気制御原子間力顕微鏡 島津 |
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島津WET-9400型
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[機器説明] |
| カンチレバーと固体表面との間で生じる原子間力を利用し固体表面のナノ構造を観察する装置で,試料としてはバルク状のものを対象としている。本装置は10×10nm2~8×8μm2までの固体表面の構造を、深さ5μmまでの凹凸を観察することができる。また、検出部を付属のSTMヘッドに取り替えることで操作型トンネル電子顕微鏡としても使用可能である。
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[島津WET-9400SPMの特徴] |
| 金属、半導体のみならずセラミックス、有機物、生体試料等も観察が可能である。
チャンバー内の雰囲気制御も可能であり、in situな観察も可能である。
データ処理ソフトはWindows3.1に対応している。
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[測定法の概略] |
| 試料表面にカンチレバーを近接させ、表面とレバー先端との間に働く原子間力を検出し、一定に保つように制御しながら表面を走査することによって、表面形状を画像化する。
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[注意事項] |
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- 使用後は装置および周辺器具類を原状に復帰すること。
- 装置のトラブルが生じた場合,速やかに担当者または管理担当者へ連絡すること。
- データをハードディスクへ保存する場合,所定のフォルダを使用すること。このフォルダは時々クリーンアップするため,FD等へのバックアップは各自で行うこと。
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管理責任者: | 化学・生物工学専攻
| 教 授
| 松田 仁樹
| 内線 3382 |
管理担当者: | 化学システム工学専攻
| 助 教
| 窪田 光宏
| 内線 5597 |
利用手続
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